晶盛机电：研发项目获重大技术进展

　　晶盛机电昨日发布关于研发项目取得重大技术进展的公告，近日，公司承担研制的国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品，在该项目责任单位、国内著名的半导体硅材料研究和生产企业——有研半导体材料股份有限公司的应用现场，首次实现在国产单晶炉设备上成功生产出目前国内最大的18英寸半导体级硅单晶棒，等径长度550mm。此单晶硅生长炉配置了32英寸热场，投料量达290Kg，创造了国内单晶硅生长炉之最。

　　此项课题的研究成功，标志着我公司已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备设计、制造的先进技术，并将继续保持国内全自动单晶硅生长炉技术的领先地位。以上全自动单晶炉公司已经开始步入产业化阶段，在形成产业化后预计将对公司业绩有积极影响。